隨著疫情逐漸趨于穩定,各大精密儀器企業紛紛復蘇,不斷創新探索半導體行業的更多可能。2021年3月17–19日,半導體行業年度盛會“SEMICON China”如期在上海新國際博覽中心召開。作為百年光學企業,奧林巴斯受邀出席此次盛會,與全球同行交流分享前瞻的光學技術和解決方案,共同推進中國半導體行業的發展。
本次大會以“跨界全球·心芯相聯”為主題,為業界各方提供了交流、合作與創新的平臺。展會期間,奧林巴斯于會展中心“N2館2627展位”搭建展臺,其OLS5100、DSX1000、MX63L等明星產品悉數亮相,為行業提供更高效先進的成像解決方案,吸引了眾多參會來賓的參觀駐足。
SEMICON China 2021奧林巴斯展臺
“專注亞微米檢測”LEXT OLS5100 3D測量激光顯微鏡
展會上引人注目的莫過于 LEXT OLS5100 3D測量激光顯微鏡。隨著工業設備朝著微型化、輕量化發展,芯片的集成度越來越高,半導體行業對亞微米級別的超精密加工和檢測的需求越來越大。對此,奧林巴斯提供的3D測量激光顯微鏡LEXT OLS5100,憑借亞微米3D觀察和表面粗糙度測量高水平的準確性和精度,為用戶提供用于質量保證和工藝控制的可靠數據。
同時,作為一款智能3D測量激光顯微鏡,奧林巴斯LEXT OLS5100顛覆了傳統激光顯微鏡操作復雜的現狀,所有必要的設置調整和數據采集均由顯微鏡自動完成,操作員只需將樣品放在載物臺上,按下開始按鈕即可針對待測樣品進行精細的形貌測量,讓測試檢驗的流程更快、更高效。
備受關注的LEXT OLS5100 3D測量激光顯微鏡
“快速故障分析能手”DSX1000 數碼顯微鏡
奧林巴斯展區內的數碼顯微鏡,同樣使人眼前一亮。在工業生產中,樣品細微的偏差,會直接導致檢測報告的回饋出現偏差,這對企業產品品控以及生產有著很大的影響。為了確保產品研發、生產的順利進行,奧林巴斯DSX1000 數碼顯微鏡,可滿足各種觀察和分析需要,快速進行宏觀至微觀的觀察。
在檢測過程中,DSX1000數碼顯微鏡的電動變焦光路結合了先進的觀察功能,可實現明場、暗場、MIX、偏光、斜射、微分干涉六種觀察方法一鍵式切換及對比度增強,細微之處的缺陷劃痕也可輕松觀察。DSX1000數碼顯微鏡還可實現多種樣品的觀察,顯微鏡頭部和載物臺都可以旋轉±90°,無論是微小樣品還是大型樣品的觀察和分析都更易于實現。此外,DSX1000配備的遠心光學系統使其在整個放大范圍內的圖像失真率極低,實現了有保證的準確度和重復性的高精度測量。
工作人員為現場嘉賓講解DSX1000 數碼顯微鏡
“大尺寸樣品檢測 順暢高效”MX63L工業檢測顯微鏡
對于檢測人員來說能夠在日常工作中,使用一臺檢測順暢、操作簡便的儀器是提高工作效率的核心,而奧林巴斯MX63L半導體檢測顯微鏡具備優異的光學性能、適合大尺寸樣品、先進的人體工學設計等諸多優點,充分展現了其在高質量檢測方面的獨特優勢。
MX63L顯微鏡系統支持檢測尺寸達300毫米的晶圓、平板顯示器、印刷電路板以及其它樣品的質量。此外,該顯微鏡還可以搭配晶圓搬送機AL120使用,實現無需使用鑷子或工具即可安全地將硅或化合物晶圓從晶圓匣運送到顯微鏡載物臺上。其卓越的性能和可靠性能夠安全、高效地對晶圓正面和背面進行宏觀檢測,非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查,從而提高整個流程檢測效率。
嘉賓體驗MX63L+AL120 半導體/ FPD /工業檢測顯微鏡
“隨心選擇 靈活運用”用于整合的顯微鏡部件
“節約成本,精準把握品控,檢測環節的優化,最終達到節省項目開發周期,為更多半導體廠商提供更優質精準的儀器……”隨著展臺工作人員對參會人員耐心的闡述產品優勢,也驗證了奧林巴斯100多年在光學-機械、電子、數字和精密技術領域的豐富經驗,其“用于整合的顯微鏡部件”可提供超過1000個組件,能夠輕松應對半導體廠商切實需求,并幫助其從各種現成和定制光學器件及組件中進行選型,為用戶節省觀察時間,最終縮短產品開發時間。
技術產品選型僅僅是第一步,奧林巴斯還可提供協助按計劃執行生產和開發計劃的靈活供應鏈管理服務。奧林巴斯組件的質量和性能將直接對設備制造商的成功構成影響,其專業支持團隊可滿足現今苛刻的技術和物流需求。
用于整合的顯微鏡部件
伴隨中國半導體產業全面恢復,更多前沿的技術和解決方案在展會中得以全面的展示。作為百年光學企業,奧林巴斯會秉承其優質高效的產品以及服務理念,持續提供精密的工業產品,不斷進取,開拓市場,為全力支持中國乃至世界“后疫情時代”的全新工業局勢而不斷發力。
備注：
