近年來,半導(dǎo)體一直都是一個熱門話題,畢竟半導(dǎo)體和芯片的制造息息相關(guān)。在科技發(fā)展的當(dāng)下,許多智能產(chǎn)品都會用到芯片,可以說掌握了核心的芯片技術(shù),就能掌握全球的科技市場。針對半導(dǎo)體的各種相關(guān)設(shè)備也一應(yīng)俱全,比如半導(dǎo)體顯微鏡,這是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展中必不可少的檢測設(shè)備,特別是進(jìn)口品牌奧林巴斯半導(dǎo)體顯微鏡MX63,專為半導(dǎo)體檢測提供解決方案。
想象不到的成像照明
半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)具有不穩(wěn)定性,觀察起來非常復(fù)雜。奧林巴斯半導(dǎo)體顯微鏡MX63采用了非常優(yōu)秀的照明技術(shù),對于半導(dǎo)體檢測的圖像采集得心應(yīng)手。并且,MX63運用了MIX觀察技術(shù),可以做到從不可見到可見。MIX觀察技術(shù)通過將暗場與明場、熒光或偏振光等其他觀察方法相結(jié)合,生成獨特的觀察圖像。讓檢測人員能夠看到傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷,如半導(dǎo)體晶圓上有什么瑕疵,會被觀察得一清二楚。同時它的即時MIA功能,還可以輕松生成全景圖像,檢測人員只需轉(zhuǎn)動手動載物臺上的XY旋鈕,就可以快速輕松的完成圖像拼接,讓我們獲得更寬的視場。
提供無塵檢測環(huán)境
半導(dǎo)體需要進(jìn)行無塵的研發(fā)及生產(chǎn),所以針對半導(dǎo)體檢測也一定是在無塵環(huán)境中進(jìn)行。奧林巴斯半導(dǎo)體顯微鏡MX63專為潔凈室工作而設(shè)計,配備的功能有助于大幅降低樣品污染或受損的風(fēng)險。該系統(tǒng)采用人體工學(xué)設(shè)計,即使長時間使用也不會有疲勞感,舒適性很高。MX63所有電動組件均安裝在防護(hù)結(jié)構(gòu)殼內(nèi),顯微鏡鏡架、鏡筒、呼吸防護(hù)罩及其他部件均采用防靜電處理。同時配備的電動物鏡轉(zhuǎn)換器的轉(zhuǎn)速比手動物鏡轉(zhuǎn)換器更快更安全,在縮短檢測間隔時間的同時,讓檢測人員的手始終保持在樣品下方,避免潛在的污染。
高效的創(chuàng)建報告
與圖像采集和測量相比,創(chuàng)建報告通常需要花費更長的時間。奧林巴斯的PRECiV軟件提供了直觀的報告創(chuàng)建功能,可以根據(jù)自定義的模板多次生成智能、復(fù)雜的報告。編輯操作非常簡單,并且PRECiV軟件的報告功能可對采集的圖像進(jìn)行數(shù)字變焦和倍率放大。
結(jié)合以上內(nèi)容,其實半導(dǎo)體顯微鏡的研發(fā)制造是非常復(fù)雜的。而奧林巴斯研發(fā)這款半導(dǎo)體顯微鏡設(shè)備滿足電子行業(yè)的人體工學(xué)和安全性要求,并以更多功能提高分析能力。如今,奧林巴斯品牌已經(jīng)將相關(guān)的研發(fā)業(yè)務(wù)交由旗下的全資子公司Evident全權(quán)負(fù)責(zé),Evident將為半導(dǎo)體檢測行業(yè)提供更多新的可能。