7 月 22 日消息 本月中旬，合肥至微項目當日正式量產，這是中國國內首個立項又最先量產的 12 英寸晶圓再生工廠。
所謂“晶圓再生”，指的是通過去除損耗控擋片表面的雜質和缺陷，使處理后的晶圓達到新片的標準，實現其循環再利用，進而為企業節約大量成本。
據介紹，合肥至微項目總投資近 10 億元，2020 年 3 月正式開工，2020 年 12 月項目設備基本搬入調試，2021 年 3 月，進入試生產階段，至 6 月進入量產階段。
合肥量產的這一晶圓再生項目以 14 納米晶圓廠的再生晶圓需求為設計基礎，是服務于中國半導體高階市場的首條投產的 12 英寸晶圓再生產線。該項目全面達產后，可形成每年 168 萬片晶圓再生及 120 萬件零部件清洗的能力，滿產后年產值可超過 6 億元。
目前我國在晶圓制造領域中完成了 8 英寸晶圓的自給自足，與硅芯片制程工藝的定義標準不同，一般來說，規格尺寸越大的晶圓，生產難度越高。
合肥至微半導體是至純科技旗下的一家負責“半導體晶圓再生和部件再生”項目的載體。至純科技前不久量產成功的 28 納米濕法清洗設備已經交付給中芯國際、華虹集團使用，有關 14 納米、7 納米制程的清洗設備將于 2022 年交給華為、中芯國際等國產廠商進行客戶認證。
