12 月 8 日，有投資者向晶瑞電材提問，晶瑞電材是否擁有 KrF 光刻機(jī)? 是否具備批量生產(chǎn) KrF 光刻膠的條件?
晶瑞電材表示，公司近期已購(gòu)得 KrF 光刻機(jī)一臺(tái)，可用于 KrF 光刻膠的曝光測(cè)試，同時(shí)公司 KrF 光刻膠量產(chǎn)化生產(chǎn)線正在積極建設(shè)中。
關(guān)于公司的主導(dǎo)產(chǎn)品，晶瑞電材表示，公司的主導(dǎo)產(chǎn)品包括光刻膠及配套材料、超凈高純?cè)噭囯姵夭牧虾突A(chǔ)化工材料等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、新能源、基礎(chǔ)化工等行業(yè)，主要應(yīng)用到下游電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程的清洗、光刻、顯影、蝕刻、去膜、漿料制備等工藝環(huán)節(jié)。公司專業(yè)從事微電子化學(xué)品的產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。公司經(jīng)過多年研發(fā)和積累，超凈高純?cè)噭┲饕a(chǎn)品達(dá)到國(guó)際最高純度等級(jí)(G5)，打破了國(guó)外技術(shù)壟斷，制定了多項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn);被中國(guó)電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)評(píng)為“中國(guó)電子化學(xué)品十強(qiáng)企業(yè)”，光刻膠產(chǎn)品規(guī)模化生產(chǎn)近 30 年，達(dá)到國(guó)際中高級(jí)水準(zhǔn)，是國(guó)內(nèi)最早規(guī)模量產(chǎn)光刻膠的少數(shù)幾家企業(yè)之一。
根據(jù)官方資料，晶瑞電材子公司蘇州瑞紅于 1993 年開始光刻膠生產(chǎn)，是國(guó)內(nèi)最早規(guī)模量產(chǎn)光刻膠的少數(shù)幾家企業(yè)之一，目前能夠能夠提供紫外負(fù)型光刻膠和寬譜正膠及部分 g 線、i 線正膠等高端產(chǎn)品，擁有達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平的光刻膠生產(chǎn)線，實(shí)行符合現(xiàn)代微電子化學(xué)品要求的凈化管理，配備了國(guó)內(nèi)一流的光刻膠檢測(cè)評(píng)價(jià)裝置。承擔(dān)并完成了國(guó)家 02 重大專項(xiàng)“i 線光刻膠產(chǎn)品開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目，i 線光刻膠已向國(guó)內(nèi)頭部的知名大尺寸半導(dǎo)體廠商供貨，KrF (248nm 深紫外) 光刻膠完成中試，產(chǎn)品分辨率達(dá)到了 0.25~0.13μm 的技術(shù)要求，建成了中試示范線。公司于 2020 年下半年購(gòu)買 ASML XT 1900 Gi 型光刻機(jī)設(shè)備，ArF 高端光刻膠研發(fā)工作正式啟動(dòng)，旨在研發(fā)滿足 90-28nm 芯片制程的 ArF (193nm) 光刻膠。與半導(dǎo)體行業(yè)客戶包括中芯國(guó)際、華虹宏力、上海積塔、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、士蘭微、合肥長(zhǎng)鑫、揚(yáng)杰科技等建立了長(zhǎng)期合作伙伴關(guān)系。(校對(duì) / 日新)
