12 月 9 日消息，今日中微公司宣布，旗下的 Prismo UniMax MOCVD 設備訂單超 100 腔，迎來新的里程碑。MOCVD 意為一種新型氣相外延生長技術，可以在襯底上生成金屬有機化合物的化學氣相沉淀。
中微公司的 Prismo UniMax MOCVD 設備于今年 6 月發布，主要用于氮化鎵基 Mini LED 外延片的量產，成品可用于制造電視、筆記本、平板電腦等顯示屏。
Prismo UniMax MOCVD 設備專為高性能 Mini LED 量產而設計，通過創新的多區溫度調節系統，能精確控制托盤局部區域溫度，有助于更大程度上提升 LED 波長均勻性。此外，優化的噴淋頭設計實現了更好的均勻性和產出穩定性，新一代直流電源進一步提升了電能轉化效率。
這款設備配備 785mm 大直徑石墨托盤，通過石墨托盤的不同設計，最多可以同時加工 164 片 4 英寸或 72 片 6 英寸外延晶片，能提高產能并有效降低 Mini LED 生產成本。Prismo UniMax® 在同一系統中可配備多達 4 個反應腔，每個反應腔都可以獨立控制。
據了解，Prismo 系列產品還包括 Prismo D-BLUE、Prismo A7 和 Prismo HiT3，首款設備于 2013 年正式發布發布，目前中微公司的 MOCVD 設備在行業內主要的 LED 生產線上全面投入量產。
