杭州城西科創(chuàng)大走廊的浙江大學(xué)成果轉(zhuǎn)化基地近日傳出了振奮人心的消息，全國首臺自主研發(fā)的國產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機(jī)“羲之”已成功進(jìn)入應(yīng)用測試階段。這一重大突破意味著，在量子芯片研發(fā)領(lǐng)域，中國擁有了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的“中國刻刀”。
在測試現(xiàn)場，浙江大學(xué)余杭量子研究院的研發(fā)團(tuán)隊(duì)正全力以赴地進(jìn)行各項(xiàng)測試。這臺形似大型鋼柜的設(shè)備，其電子顯示屏上不斷跳動(dòng)著各類精密參數(shù)。團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人形象地比喻道：“這絕非尋常機(jī)械，而是能在發(fā)絲之上勾勒整座城市風(fēng)貌的‘納米神筆’?！睋?jù)悉，“羲之”是基于省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室科研成果的新一代100kV電子束光刻機(jī)，并已正式推向市場。
“羲之”之名，取自東晉著名書法家王羲之，其“毛筆”則是由高能電子束構(gòu)成，能在微小芯片上精準(zhǔn)刻寫電路。該設(shè)備專注于量子芯片及新型半導(dǎo)體研發(fā)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，精度高達(dá)0.6納米，線寬8納米，且無需掩膜版，設(shè)計(jì)靈活可變。這一特性使其尤其適用于芯片研發(fā)初期頻繁的設(shè)計(jì)調(diào)整，如同在芯片上用納米級筆觸精確繪制。
長期以來，受國際出口管制影響，國內(nèi)頂尖如中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)、之江實(shí)驗(yàn)室等科研機(jī)構(gòu)難以采購到此類高端設(shè)備。而“羲之”的成功問世，無疑為這一困境帶來了轉(zhuǎn)機(jī)。據(jù)報(bào)道，“羲之”的定價(jià)相較于國際市場更為親民，并已與多家企業(yè)及科研機(jī)構(gòu)建立了合作關(guān)系。
