在杭州城西科創大走廊的核心區域，浙江大學成果轉化基地近日宣布了一項重大科技突破：全國首臺自主研發的商業級電子束光刻機“羲之”已成功邁入應用測試階段，其技術性能與國際頂尖設備并駕齊驅，標志著中國在量子芯片制造領域擁有了自主知識產權的“刻刀”。
這款100kV電子束光刻機，是在浙江省重點實驗室的堅實支撐下孕育而生的科技結晶，如今已正式開啟市場化征程。研發團隊自豪地介紹，“羲之”專為量子芯片及新型半導體材料的研發設計而生，利用精密的高能電子束，在硅基底上“精雕細琢”出電路圖案，其精度高達0.6納米，線寬則達到8納米。尤為“羲之”無需傳統掩膜版，設計靈活可變，極大提升了芯片研發初期的調試效率。
長期以來，此類高端光刻設備受限于國際出口管制，導致包括中國科學技術大學、之江實驗室在內的眾多國內頂尖科研機構面臨采購難題?！棒酥钡膯柺?，無疑為這一困境帶來了曙光。更為振奮人心的是，相較于國際市場同類產品的平均價格，“羲之”展現出了更高的性價比優勢，目前正與多家企業及科研機構積極洽談合作事宜。
這一里程碑式的成就，不僅彰顯了中國在高科技領域自主創新的決心與實力，更為全球量子芯片及半導體產業的發展注入了新的活力與可能。
