在杭州城西科創(chuàng)大走廊的核心區(qū)域，浙江大學成果轉(zhuǎn)化基地迎來了一個振奮人心的消息：全國首臺國產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機“羲之”已成功進入應(yīng)用測試階段。作為基地首批簽約孵化的項目，“羲之”的亮相標志著中國在量子芯片研發(fā)領(lǐng)域擁有了自主研發(fā)的“刻刀”。
在浙大余杭量子研究院的測試現(xiàn)場，一臺外觀類似大型鋼柜的設(shè)備正在進行緊張的應(yīng)用測試。電子顯示屏上，實時參數(shù)不斷跳動，顯示著設(shè)備的運行狀態(tài)。團隊負責人形象地比喻這臺設(shè)備為“納米神筆”，能夠在微小的芯片上“雕刻”出復雜的電路。
據(jù)研發(fā)團隊介紹，“羲之”之所以得名于書法家王羲之，是因為它同樣以“筆”為工具，只不過這里的“筆”是高能電子束。這臺新一代100kV電子束光刻機通過電子束在硅基上“手寫”電路，精度高達0.6納米，線寬為8納米。其獨特之處在于能夠靈活修改設(shè)計，無需掩膜版，非常適合芯片研發(fā)初期的反復調(diào)試。
此前，由于國際出口管制，此類高端設(shè)備一直難以進入中國市場，導致中國科學技術(shù)大學、之江實驗室等國內(nèi)頂尖科研機構(gòu)長期面臨采購難題。“羲之”的落地不僅打破了這一困局，還以低于國際均價的價格，吸引了多家企業(yè)和科研機構(gòu)的關(guān)注。
“羲之”的成功并非偶然，它背后是科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新深度融合的結(jié)果。今年7月，省級教育科技人才一體改革專項試點項目在余杭區(qū)的浙江大學校友企業(yè)總部經(jīng)濟園落地。浙江大學與該園攜手搭建了成果轉(zhuǎn)化平臺，實現(xiàn)了從實驗室樣品到量產(chǎn)產(chǎn)品的全流程陪跑。
在城西科創(chuàng)大走廊，這樣的創(chuàng)新融合已成為常態(tài)。院士工作站入駐城投未來之星辦公樓，無縫對接企業(yè)需求；優(yōu)秀概念驗證項目征集活動連年舉辦，打通了成果轉(zhuǎn)化的“最后一公里”。未來，城西科創(chuàng)大走廊將持續(xù)推動“兩新融合”，為硬科技突破提供加速動力，推動科技成果更快轉(zhuǎn)化為現(xiàn)實生產(chǎn)力。
電子束光刻機作為尖端科研與特定工業(yè)環(huán)節(jié)的“刻刀”，雖然目前主要應(yīng)用于科研領(lǐng)域和光掩模制造，但其高精度和靈活性使其在芯片研發(fā)初期具有不可替代的作用。盡管面臨效率瓶頸，但隨著技術(shù)的不斷進步，未來有望在多束控制或混合光刻架構(gòu)上取得突破，進一步擴展應(yīng)用場景。
